【惠丰润滑油提供：油扩散泵的常见故障及原因】

由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如述如下;

1) 极限真空变低
    原因： a.系统中有渗漏；
           b.系统太脏；
           c.泵油污染；
           d.加热功率不够；
           e.冷却水不足；
           f.过量或过冷的冷却水；
           g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；
           h.快冷管内有水。

2) 抽气较慢
    原因： a.加热功率低；
           b.油量不足；
           c.喷帽安装位置不当或受损。

3) 进口压力波动
    原因： a.加热器输入功率不当；
           b.油脱气；
           c.扩散泵进口前面系统有渗漏。

4) 工作腔污染大
    原因： a.前级压力高；
           b.在高于10-1Pa压力下长期工作；
           c.系统操作有误。

5) 返油率过大：
    原因： a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；
           b. 加热功率不对