“高精密宽光谱光学膜厚监控系统”填补国内 空白，达到国际先进水平

         2024年12月7日上午，广东省真空学会在中山留学人员创业园（新园）组织行业技术专家对长春理工大学中山研究院等单位完成的科技成果“高精密宽光谱光学膜厚监控系统”进行评价。专家组认真审阅成果完成单位提供的评价材料，听取成果开发工作报告，现场考察成果实物机台功能展示，经质询和讨论，一致认为该成果填补了国内空白，达到国际先进水平。

        高精密宽光谱光学膜厚监控系统是高精密光学镀膜设备的核心部件，涉及半导体、集成电路、红外安防、生物医学工程、红外军工和航空航天等敏感领域，受国外限制进口，属于典型的“卡脖子”技术。

        该成果主要研制一种可见与红外宽光谱高精密光学膜厚直接监控系统，该系统由特殊光源、光谱分析装置、锁相放大器、探测系统组成，通过滤波算法实现直接监控薄膜的光学厚度。该系统是光学精密镀膜设备的控制核心，直接决定薄膜器件的光谱精度。当前，在国内只有在进口的高端设备上才会才配有可见近红外光控系统，国产设备由于进口限制，均没有配备红外光控系统，且进口光控系统价格很高。宽光谱光学膜厚监控技术在国内还处于萌芽阶段，目前国内在应用的相关设备都是国外进口。尤其近年来红外光学薄膜需求爆发式增长，国内每年光学镀膜设备的出货量 300+台，需要进行高端镀膜的设备超过 30%，这一比例还在持续增长，镀膜设备的存量约 5000+ 台，有将近 30%以上的设备可以通过加装宽光谱光学膜厚监控系统使设备的性能提高一个等级，因此成果具有良好的市场应用前景，已经实现销售十多台套。